项目名称：磁控溅射镀膜机

项目编号：西交材招（2023）23

项目联系人：陈波

项目联系电话：19582130176

采购单位联系方式：

采购单位：银河国际4556银河国际4556

采购联系人：黄小燕 邮箱：huangxiaoyan@mail.xjtu.edu.cn

联系地址：西安市咸宁西路28号银河国际4556仲英楼A223室

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

名称：磁控溅射镀膜机

数量：1台

规格描述：1.真空腔室：采用SUS304不锈钢制作，镀膜室内净尺寸:≥ L400×W440×H450；方箱式，配有前、后两个门，前门水平滑开式，便于手套箱内操作；后门为侧开式门，用于设备清理维护；镀膜室需配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠；

2.真空系统：复合分子泵（抽速不小于1300L/S）+涡旋干泵（抽速不小于9L/S）+高真空阀门组合的高真空系统，数显复合真空计。

3.真空极限：≤6.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）。

4.抽速：（空载）从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min。

5.基片台：可承载210×210mm，提供相应尺寸的样品托，旋转：0～20转/分钟；基片台加热：室温～500±1℃，采用镍铬加热器，PID智能温控闭环控温。

6.ITO膜层不均匀性；100×100mm样品≤±5%，210×210mm范围内≤±20%；

检测及计算方式：多点测量，（最大值-最小值）/（最大值+最小值）×100%；

7.溅射靶及电源：不少于2只4英寸的磁控溅射靶，自动匹配射频电源功率500W不少于2台，直流脉冲溅射电源1KW不少于1台，偏压电源功率1KW不少于1台。

8.自动压控系统：Φ200mm，配0.1Torr薄膜规，有利于工作压力恒定，保持镀膜时工艺压力稳定。

9.工作气路：氩、氧、氮量程范围不低于0～100/10/10sccm，气路不少于三路。

10.控制系统：需采用PLC+触摸屏半自动控制，可实现自动一键式抽真空。

11.机架：铝合金外框包装一体化设计，底下配脚轮，方便移动、定位。

12.辅助部件：

12.1冷却循环水机1台，≥3P，水压0.2～0.3MPa，水温10～25℃，流量≥30L/min ；

12.2小型空气压缩机 1 台,排气量≥90L/min,储气罐容积≥38L(0.038 m³),噪音: ≤68dB。

二、对供应商资格要求（供应商资格条件）：

（一） 供应商的资格要求：
　　1. 符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求；
　　2. 具有独立法人资格及相关证照，具有良好信誉及合同履行能力，具有良好资金、财务状况。
　　3. 供应商应为所提供产品的生产企业，或具有所提供生产企业出具的针对本项目的产品授权书。
　　4. 供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录。
　　5. 本项目不接受联合体投标。
　　6. 其他要求：
　　本项目特殊要求在技术规格指标中列明
（二）供应商报名方式：
　　符合本公告要求的供应商，填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表人、委托代理人分别签字并加盖单位公章后，彩色扫描成PDF文件后发送给采购单位联系人邮箱。

三、采购文件的发售时间及地点等：

磋商时间：2023年10月16日15点30分

地点：银河国际4556兴庆校区银河国际4556第四会议室（仲英楼A222）

获取磋商文件时间: 2023年10月9日-10月13日18点

获取磋商文件方式：报名审核通过的供应商由采购联系人以邮件形式发送标书要求。

响应文件递交时间：2023年10月16日15点30分

响应文件递交地址：西安市咸宁西路28号银河国际4556仲英楼

响应文件开启时间： 2023年10月16日15点30分

响应文件开启地点：西安市咸宁西路28号银河国际4556仲英楼